集聚全球頂級專家、行業(yè)精英，匯集行業(yè)新技術(shù)、新產(chǎn)品、新成果……昨天，隨著第十四屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會開幕，全球納米產(chǎn)業(yè)進(jìn)入“金雞湖時刻”。2400多家納米技術(shù)相關(guān)企業(yè)集中亮相，爭相展示各自前沿技術(shù)和拳頭產(chǎn)品。金雞湖成為連接全球納米領(lǐng)域“產(chǎn)、學(xué)、研、用”各界的橋梁和紐帶。
蘇企自研設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度無損檢測
面對高精度鋰電池，如何能在無損電池極片表面的情況下實(shí)現(xiàn)又快又準(zhǔn)的檢測？展會上，江蘇自貿(mào)區(qū)蘇州片區(qū)企業(yè)托托科技（蘇州）有限公司帶來“新解法”。
“傳統(tǒng)檢測工具很多采用電子束或探針掃描檢測樣品，最大缺點(diǎn)是會損傷樣品。我們今年3月推出的檢測設(shè)備，以光學(xué)非接觸方式進(jìn)行檢測，可以無損、高精度判斷高精度金屬表面、生物芯片、半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品的工藝水平。”該款光學(xué)檢測顯微鏡產(chǎn)品線銷售代表丁一航介紹，產(chǎn)品在X、Y軸方向上的分辨率與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡一致，但在Z軸上精度非常高，可達(dá)0.1納米的原子級精度。“光學(xué)干涉原理決定了檢測精度，這也是我們的核心技術(shù)優(yōu)勢。”
技術(shù)能力不亞于國外產(chǎn)品，價格僅為其六七成……展臺前，托托科技人氣十足。丁一航告訴記者，這款檢測顯微鏡主要面向半導(dǎo)體等領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)，技術(shù)門檻較高，在光學(xué)軟件算法、核證等方面優(yōu)勢明顯，實(shí)現(xiàn)對國外產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代。“我們的產(chǎn)品既能滿足不同場景的觀察模式，也可實(shí)現(xiàn)亞納米級別的分析結(jié)果，獨(dú)有的AI算法還能無延遲輸出分析結(jié)果，能滿足各類特點(diǎn)場景的檢測任務(wù)。”丁一航說。
激光直寫光刻機(jī)彰顯核心競爭力
今年，園區(qū)蟬聯(lián)“MEMS傳感器十大園區(qū)”榜首，實(shí)現(xiàn)四連冠。本屆納博會上，以微納制造技術(shù)加速新型材料和工藝創(chuàng)新的蘇大維格，帶來自主研發(fā)的激光圖形化直寫設(shè)備MiScan。
MiScan200激光直寫系統(tǒng)，是對感光材料進(jìn)行微納米結(jié)構(gòu)制版的重要設(shè)備，是IC集成電路和微納光電子器件產(chǎn)品研發(fā)與制造的核心裝備之一。現(xiàn)場工作人員告訴記者，MiScan200激光直寫系統(tǒng)使用一系列首創(chuàng)方法，能有效突破直寫圖形納米級精度和設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性一致性的問題，滿足光電子行業(yè)的技術(shù)需求，為光子材料/器件的創(chuàng)新提供不可或缺的原創(chuàng)手段。“這款裝備曾獲蘇錫常首臺（套）重大裝備認(rèn)定，在兩微米左右精度下，每分鐘光刻面積可達(dá)600平方毫米。”工作人員說。
據(jù)了解，蘇大維格是業(yè)內(nèi)少數(shù)擁有微納光學(xué)制造完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)之一，現(xiàn)階段公司的微納光學(xué)制造技術(shù)主要應(yīng)用于公共安全和新型3D印材、消費(fèi)電子新材料和泛半導(dǎo)體等領(lǐng)域。目前，園區(qū)成立了納米加工平臺、MEMS中試平臺、測試分析平臺、微系統(tǒng)平臺封裝等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵支撐平臺，還成立全國首個MEMS產(chǎn)業(yè)知識產(chǎn)權(quán)聯(lián)盟，啟動全國首個MEMS產(chǎn)業(yè)專利池，在聲學(xué)傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器等領(lǐng)域形成先發(fā)優(yōu)勢。
國外展團(tuán)為本地產(chǎn)業(yè)帶來全新視角
本屆納博會更注重產(chǎn)業(yè)鏈全景圖的呈現(xiàn)。以MEMS產(chǎn)業(yè)鏈為例，匯集歌爾、漢威、敏芯等器件設(shè)計企業(yè)，中國科學(xué)院納米所、松山湖實(shí)驗室、杭州士蘭微等16家量產(chǎn)/代工企業(yè)，勝科納米、微納科技、計量所等測試分析企業(yè)，科磊半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、上海微電子裝備、卡爾蔡司等國內(nèi)外設(shè)備企業(yè)。
“我們希望通過升級本屆納博會的規(guī)模，擴(kuò)大園區(qū)納米技術(shù)應(yīng)用及新材料領(lǐng)域‘朋友圈’。”蘇州納米科技發(fā)展有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，今年2月和7月，納博會主席團(tuán)代表攜企業(yè)分赴日韓參加今年日本納米大會、第22屆韓國納米大會，成功邀請日韓企業(yè)組團(tuán)參展今年納博會。歐洲、伊朗等國際特色展團(tuán)也將現(xiàn)場參展，集中展示各自國家在納米技術(shù)領(lǐng)域的最新成果和應(yīng)用，為本地產(chǎn)業(yè)帶來全新視角。
本屆納博會邀請到國內(nèi)外院士20多位、政企及院校專家學(xué)者450余位。主報告及分論壇報告中，國際演講嘉賓約占嘉賓總數(shù)30%。“專家大咖進(jìn)行思想碰撞，不僅會帶來最前沿的技術(shù)視角，也將加快推動園區(qū)在納米技術(shù)應(yīng)用及新材料領(lǐng)域更高水平的國際合作，為加快建設(shè)開放創(chuàng)新的世界一流高科技園區(qū)集聚更多智慧。”該負(fù)責(zé)人說。
駐園區(qū)首席記者 董捷
《蘇州日報》2024年10月24日A02版
